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东莞市世安气动液压设备有限公司
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(1)XRD 分析结果表明,膜层主要以TiN、CrN 及Cr2N 形式存在。各
衍射峰存在一定的宽化和偏移,这主要是Cr 取代部分TiN 晶格中的Ti造成晶格畸变所致;TiN 相的择优取向面由(111)向(220) 转变,CrN 和Cr2N 相的择优取向分别为(200)、(220)和(113)晶面;
联系人:陶先生 QQ:1420760959 联系电话:13829178000 0769-81558220 0769-81558208 0769-81558225
MVS-035系列电子式压力传感器参数概述
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MVS-035系列电子式压力传感器
http://www.seyasu.com.cn/Products/Vacuum_generator/list_191_1.html
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2)显微硬度测试结果表明,样品薄膜的硬度较TiN 单层膜有所下降,主要是因为薄膜沉积过程中熔融的液钛或液铬附着在薄膜表面,在薄膜表面形成大颗粒以及多弧离子自身存在缺陷微孔洞的形成,使得薄膜表面结构疏松,硬度值相对较低
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(3)结合力测试结果显示,样品薄膜的结合力在38 N 到44 N 之间。偏压相同,阴极弧电流依次增大,结合力也增大。阴极弧电流相同,偏压增高,结合力变大。 |
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